北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析。

產品型號：SN/RTS-4

更新時間：2024-10-17

廠商性質：生產廠家

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產品分類

電力設備

鉗形表接地故障/電纜故障檢測儀管線故障尋蹤儀電阻測試儀絕緣電阻測試儀（兆歐表）無線/高壓核相儀場強儀信號發生器/信號測量儀電流發生器、電流測量儀電力參數測試儀電阻率測定儀泄漏電流測試儀萬用表、計時器、多用表電泳儀功率測試儀/功率表/功率計示波器/示波表變比測量儀電容耦合測試儀氧化鋅避雷器檢測儀繼電保護測試儀/繼電器變壓器測試儀電位差計/電位儀、電荷測量儀交流/直流穩壓電源、程控功率電源電能表/電流表/電壓表/歐姆表、校驗儀電火花檢測儀數字電橋相位/伏安表絕緣油測定儀頻譜分析儀/示蹤線地下管道/管線檢測設備其他電力設備

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品牌	FR/富瑞	產地類別	國產
類型	數字式電阻測試儀	測量范圍	0.0001～2000ω.cmMΩ
應用領域	化工,石油,電子/電池

數字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀

型號：SN/RTS-4

產品簡介：

北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

北京單晶硅物理測試儀儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析

技術參數：

測量范圍：電阻率：0.0001～2000ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000ω.cm；

可測晶片直徑：140mmx150mm(配s-2a型測試臺)；
200mmx200mm(配s-2b型測試臺)；
400mmx500mm(配s-2c型測試臺)；

恒流源：電流量程分為0.1ma、1ma、10ma、100ma四檔，各檔電流連續可調

數字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mv；

分辨力：10μv；
輸入阻抗：>1000mω；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標：間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000mω；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

應用參數：(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差（按jjg508-87進行）：0.1ω、1ω、10ω、100ω小于等于0.3%±1字

整機測量大相對誤差：(用硅標樣片：0.01-180ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度：≤5%

測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試